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化学过滤器的作用是什么?
化学过滤器主要用于去除空气中的酸性气体(HF、HCl)、碱性气体(NH₃)、硫化物(SO₂、H₂S)及VOC有机气体等分子污染物,是半导体与精密电子制造中的关键防护组件。
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