面向OLED、LCD及高世代显示产线的洁净空气控制。新型显示制造具有洁净空间巨大、空气处理量高、工艺复杂、污染物种类多等特点。随着显示分辨率不断提高，对颗粒物及分子污染的控制要求也持续提升；同时，OLED、LCD等制造过程中使用的溶剂及化学品，也对空气过滤与污染控制提出了更高要求。

Getek针对显示面板制造环境，提供覆盖MAU/AHU、洁净室循环风系统及关键工艺区域的过滤解决方案。

大风量空气预过滤

通过预过滤及中效过滤降低进入空调系统的颗粒负荷，保护后端高效过滤器，并兼顾系统运行效率。

洁净室高效过滤

采用HEPA/ULPA高效过滤器，为洁净室及关键生产区域提供稳定的颗粒控制能力。

工艺区域AMC控制

针对光刻、涂布、显影、清洗等环节可能产生的酸性、碱性及有机分子污染物，配置相应的化学过滤器，降低分子污染对产品表面及工艺过程的影响。

设备端局部污染控制

对于污染风险较高的工艺设备，可通过设备侧化学过滤器进行局部控制，减少污染物进入关键生产区域。

过滤系统检测与优化

通过滤材及过滤器吸附性能、释气、压损等测试，为过滤器选型及运行维护提供数据支持。