EFU设备用风机过滤机组
EFU（Equipment Fan Filter Unit）是专为半导体制造设备及高精密工业环境设计的微型化空气净化模块。作为洁净室末端净化关键组件，可直接集成于生产设备内部或上方，为晶圆加工、光刻、蚀刻等核心工艺提供局部 ISO Class6 甚至 ISO Class1 高纯洁净气流保护，有效隔离微尘污染，提升产品良率。
- 静音运行：气动 + 电机优化，低噪减振，不干扰精密仪器
- 安装灵活：体积轻薄，支持嵌入式 / 顶置式，适配各类机台
- 卓越过滤：高等级滤网 + 可靠密封，杜绝侧漏，稳定控尘
- 送风稳定：静压均流结构，出风风速均匀
- 智能控制：多档调速、RS485/Modbus 通讯，节能且自带故障诊断
洁净设备EFU 设备用风机过滤机组
- 箱体材质镀锌钢板 / 冷轧钢板（静电喷塑）/ 铝板 / 不锈钢板
- 风机直流 / 交流
- 电源1P 220V 50Hz / DC 48V
- 控制方式手动调速 / 电脑控制
- 过滤器厚度50/75mm
- 过滤器滤料超细玻璃纤维 / PTFE 膜
- 过滤器护面网喷塑钢板护面网 / 铝合金护面网
- 过滤器垫片EPDM
- 过滤器效率H13/H14/U15/U16/U17
- 结合方式分体式 / 一体式 / 下拆式
- 安装方式垂直安装 / 水平安装
| 箱体尺寸L×W×D (mm) | 风量(CMH） | 风速（m/s） | 压损（Pa） | 功率（W） | 噪音（dBA） |
|---|---|---|---|---|---|
| 570×1170×130 | 1000 | 0.45 | 370 | 80 | 53 |
| 1170×1170×130 | 2105 | 0.45 | 320 | 140 | 55 |
| 940×1170×130 | 2475 | 0.45 | 230 | 165 | 58 |
可根据客户工况，客制化尺寸